涂装膜的检查装置及检查方法
2020-01-06

涂装膜的检查装置及检查方法

本发明涉及涂装膜的检查装置及检查方法。涂装膜的检查装置具有:发生太赫兹波的太赫兹波发生器;将所述太赫兹波向形成有膜的试料照射的照射光学系统;对在所述试料被反射的太赫兹波进行检测的太赫兹波检测器;控制部,其将检测出的太赫兹波的电场强度表示成时间轴的波形数据,从波形数据检测多个波峰,并基于波峰间的时间差算出膜厚。

图22是金属涂装试料的剖视图。如该图所示,金属涂装是在基底即金属上按顺序形成金属涂层、透明涂层而构成的。对涂装试料照射太赫兹波时,太赫兹波在折射率变化的界面上反射。即,太赫兹波在空气及透明涂层的界面(1)、透明涂层及金属涂层的界面(2)、金属涂层及金属的界面(3)上反射。

图32是表示本发明的第五实施方式的检查方法的流程图。

首先,将成为检查对象的试料3设置在光学装置2b上之后,调整电光晶体35的角度,以使电光晶体35的晶体轴与太赫兹波的偏光方向一致。电光晶体35的旋转角度的调整也可以通过被控制装置5b驱动的执行机构24进行。操作者操作控制装置5b,使检查程序启动(步骤S501),检查装置lb按照以下顺序进行测量(步骤S502)。

DAST(4-dimethylamin〇-N-methyl-4-stilbazoliumtosylate)15是有机非线性光学晶体,公知是具有高的光学常数的有机非线性光学晶体。通过使用超短脉冲的飞秒激光器,能够发生几十THz以上的太赫兹波。

(光学装置的结构)

图24是本发明的第二实施方式的波峰检测处理的流程图。

Description

接着,参照图32的流程图说明使用了本实施方式的检查装置的检查方法。

图33B是用于说明本发明的第五实施方式的电光(E0)晶体中的偏光方向及晶体轴方向的图。

接着,控制装置检测存在于时间xl、x4之间的正的波峰中的最大的波峰,求出该波峰的时间x3(步骤S108)。而且,控制装置5判断时间x4和x3的差的绝对值(色层的膜厚)、时间x3和xl的差的绝对值(透明涂层及云母层的膜厚)分别是否处于预定的膜厚范围内(步骤S109)。